李炎
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刘玉岭
,
卜小峰
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孙铭斌
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杨志欣
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张男男
,
张玉峰
,
程川
表面技术
目的：研究一种复合清洗剂对铜膜表面腐蚀缺陷的控制效果。方法通过单因素实验优化无磨料复合清洗剂组成和相应的清洗工艺,并通过研究优化的清洗条件对不同类型铜晶圆表面划伤、残留颗粒的清洗效果,验证该清洗剂的清洗性能。结果优化的清洗剂组分和清洗工艺为：金属离子螯合剂体积分数0.025%,表面活性剂体积分数0.1%；清洗剂温度30℃,清洗剂流量3 L/ min。优化的复合清洗剂能大幅度降低铜膜表面划伤和表面粗糙度,对铜膜表面残留的颗粒有较强的去除作用。结论优化的复合清洗剂能够对不同类型铜晶圆表面缺陷进行大幅度的修正,研究成果对提高大规模生产中晶圆的成品率有一定的指导作用。
关键词:
复合清洗剂
,
大分子螯合剂
,
表面活性剂
,
铜膜
,
腐蚀速率
谈淑咏
,
张旭海
,
朱迪
,
陈健
,
蒋建清
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2017.02.026
采用直流脉冲磁控溅射法制备铜膜,利用X射线衍射法分析薄膜相结构,通过扫描电镜观察薄膜形貌,基于纳米压痕载荷-位移曲线计算薄膜的硬度、弹性模量和接触刚度,同时采用显微硬度法测量薄膜硬度,系统研究了溅射功率和偏压对铜膜结构和力学性能的影响.结果表明,通过纳米压痕载荷-位移曲线计算薄膜力学性能是可靠的.随着溅射功率的增大,铜膜生长取向几乎无变化,均呈无择优生长状态,弹性模量、接触刚度基本不变,硬度略有减小;偏压增大会使铜膜呈现明显的(111)取向生长,接触刚度、弹性模量和硬度呈下降趋势.
关键词:
铜膜
,
纳米压痕
,
弹性模量
,
硬度
,
接触刚度
