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以BCl3-CH4-H2为前驱体、化学气相沉积制备BxC凝聚相产物的热力学研究

孙国栋 , 邓娟利 , 李辉 , 张青

稀有金属

采用完整热力学平衡分析验证了自愈合相段C的产物是温度和初始气体摩尔比的函数.结果表明,凝聚相的成分与温度和气体的摩尔比(如BCl3∶(BCl3+CH4)、H2∶(BCl3+CH4))密切相关.BxC的理想沉积条件是:BCl3∶(BCl3+CH4)之比为0.8,H2∶(BCl3+CH4)之比在10~105.2之间,而温度应高于950 K.材料的富碳或者富硼主要通过调整BCl3∶(BCl3+CH4)和H2∶(BC13+CH4)的气体摩尔比来控制.

关键词: 热力学 , 化学气相沉积 , 凝聚相

凝聚相瞬态吸收光谱及动力学测量装置

孙海虹 , 李全新 , 宋钦华 , 周晓国 , 赵江敏 , 戴静华 , 俞书勤

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2000.02.014

本文报道最近研制和建立的凝聚相瞬态吸收光谱及动力学测量的装置,其特点是以低能量,波长可调(4~μm~200~nm)的激光器做为激励光源, 实时地跟踪和检测激光诱导的瞬态产物的吸收谱及其动力学行为。

关键词: 激光闪光光解 , 瞬态吸收谱 , 凝聚相

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