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Al2O3复合磨粒的制备及表征

麻鹏飞 , 蒋春东 , 吴疆 , 张萍

中国有色金属学报

为了提高Al 2 O 3超微粉在水介质中的分散稳定性,先采用硅烷偶联剂KH570对Al 2 O 3进行表面改性,再对Al 2 O 3粒子锚固偶氮引发剂偶氮二异丁基脒盐酸盐(AIBA),进而引发丙烯酰胺(AM)单体聚合而制备聚丙烯酰胺(PAM)/Al 2 O 3复合粒子。利用XPS、FT-IR、激光粒度仪、微电泳仪、分光光度计、SEM及XRD等对Al 2 O 3复合粒子结构及分散性能等进行表征。结果表明:在40℃下加入水溶性偶氮引发剂,可以得到在水介质中分散稳定性良好,以聚丙烯酰胺为壳,以Al2O3为核的复合磨粒。与未改性的Al2O3超微粉相比,经AM接枝聚合改性后的颗粒表面团聚现象得到改善,颗粒的D 50减小;接枝改性后Al 2 O 3的等电点IEP发生迁移,在pH值为9时颗粒表面Zeta电位绝对值达到最大。

关键词: Al2O3超微粉 , 偶氮引发剂 , 分散性 , 表面改性 , 复合磨粒

壳层厚度对核-壳结构PS-SiO2杂化颗粒压缩弹性模量的影响

陈爱莲 , 钱程 , 苗乃明 , 陈杨

复合材料学报 doi:10.13801/j.cnki.fhclxb.20141021.002

基于正负电荷间的静电作用制备了具有核-壳结构的聚苯乙烯-氧化硅(PS-SiO2)杂化颗粒,通过调节正硅酸乙酯的用量对样品的SiO2壳层厚度进行控制.利用原子力显微镜(AFM)在微观尺度上测定杂化颗粒的力-位移曲线,根据Hertz接触模型和Sneddon接触模型,考查了SiO2壳层厚度对样品压缩弹性模量的影响.扫描电子显微镜(SEM)和透射电镜(TEM)结果显示,杂化颗粒中PS内核尺寸为(197士9)nm,壳层由SiO2纳米颗粒组成,在本试验范围内杂化颗粒样品的壳厚为11~16 nm.在Hertz接触模型条件下,PS微球的弹性模量为(2.2±0.5) GPa,其数值略低于PS块体材料.当SiO2壳厚由11 nm增至16 nm时,杂化颗粒的弹性模量从(4.4士0.6) GPa增至(10.2士1.1) GPa,其数值明显低于纯SiO2,且更接近于PS内核.

关键词: 复合磨粒 , 杂化颗粒 , 核-壳结构 , 弹性模量 , 原子力显微镜

设计与制备具有放射状介孔壳层的PS/MSiO2复合磨料及其抛光氧化硅片效果

陈爱莲 , 汪亚运 , 陈杨

中国有色金属学报

以阳离子表面活性剂CTAB为牺牲模板、TEOS为硅源、硝酸铵/乙醇混合溶液为选择性溶剂,合成以表面经PVP修饰的聚苯乙烯(Polystyrene,PS)微球为内核、表面包覆介孔氧化硅(Mesoporous-silica,MSiO2)壳层的新型PS/MSiO2复合磨料.采用场发射扫描电镜(FESEM)、透射电镜(TEM)和原子力显微镜(AFM)测试,研究PS/MSiO2复合磨料的核壳结构以及经复合磨料抛光后的表面粗糙度均方根值和抛光速率.结果表明:PS/MSiO2复合磨料具有包覆完整的核壳结构,其PS内核尺寸为200~210 nm,介孔氧化硅壳层厚度约为30 nm,包覆层中存在大量放射状介孔孔道.氮气吸附/脱附测试表明:复合磨料的比表而积为612 m2/g,介孔孔径为2~3 nm:经复合磨料抛光后衬底表面粗糙度均方根值(RMS)和抛光速率(MRR)分别为0.252 nm和141 nm/min,明显优于粒径相当的常规SiO2磨料(0.317 nm,68 nm/min).复合磨料中有机内核及壳层中的介孔孔道结构有利于降低颗粒的弹性模量和表面硬度,从而有助于减小磨料在衬底表面的压痕深度并降低抛光表面粗糙度.此外,复合磨料可借助其高比表面积提高对抛光液中有效化学组分的吸附能力,从而增强接触微区内的化学反应活性以提高抛光速率.

关键词: 聚苯乙烯 , 介孔氧化硅 , 核壳结构 , 复合磨料 , 化学机械抛光

复合磨粒抛光技术研究现状与展望

朱良健 , 滕霖 , 白满社

材料导报

复合磨粒抛光技术具有抛光速率高、面形精度好、表面缺陷少等优点,已成为当前的研究热点.综述了复合磨粒抛光技术中核壳型复合磨粒的制备方法、表征技术和作用机理的研究现状,指出了当前复合磨粒抛光技术存在的问题与不足,并对其发展方向进行了展望.

关键词: 抛光 , 复合磨粒 , 核壳型

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