材料期刊网

Ni-Mo-P合金镀层退火应力的CGS在线测试

王梅玲 , 杨志刚 , 张弛

材料热处理学报

通过自组装层法在SiO2基底上化学镀了Ni-Mo-P薄膜,薄膜的厚度和成分通过X射线荧光仪(XRF)测定.利用新型在线应力测试方法(相干梯度敏感法CGS)对退火过程中的应力进行了全场在线测试.结果表明,定量计算得到特定成分的生长应力为3.85 GPa;在600℃、700℃退火过程中,薄膜的应力首先出...

关键词: 相干梯度敏感法 , 高温应力 , Ni-Mo-P薄膜 , 干涉条纹