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聚酰亚胺涂层胶研究进展

薛绘 , 徐勇 , 王新龙 , 陈钊

绝缘材料

综述了近年来国内外微电子领域用聚酰亚胺涂层胶的研究进展情况，对非光敏型与光敏型聚酰亚胺涂层胶的化学合成方法及其结构与性能进行了分析和总结，并提出了其今后的发展方向。

关键词: 微电子 , 聚酰亚胺 , 涂层胶