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组合法制备Pb（ZrxTi1-x）O3铁电薄膜及性能研究

何岗 , 彭超 , 赵德森 , 何明中 , 洪建和 , 栗海峰 , 公衍生

材料科学与工艺

为了系统地探讨Pb（ Zrx Ti1-x ） O3（ PZT）薄膜组成-结构-性能之间的规律，在室温和无蒸馏回流条件下，利用配制的前驱溶液PT（ Pb和Ti的金属有机物溶液）和PZ（ Pb和Zr的金属有机物溶液）及组合化学法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上简单快捷地制备了一系列Pb（ZrxTi1-...

关键词: 化学溶液分解 , 组合合成 , Pb(ZrxTi1-x)O3 , 薄膜 , 铁电性