何岗
,
彭超
,
赵德森
,
何明中
,
洪建和
,
栗海峰
,
公衍生
材料科学与工艺
为了系统地探讨Pb（ Zrx Ti1-x ） O3（ PZT）薄膜组成-结构-性能之间的规律，在室温和无蒸馏回流条件下，利用配制的前驱溶液PT（ Pb和Ti的金属有机物溶液）和PZ（ Pb和Zr的金属有机物溶液）及组合化学法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上简单快捷地制备了一系列Pb（ZrxTi1-x）O3薄膜．XRD分析表明，薄膜具有钙钛矿结构，择优取向为（111），晶格参数变化规律与传统方法制备的PZT薄膜的结果一致．x＝0．3的前驱体在200℃附近出现特殊的热分解现象．XPS测试结果证实薄膜成分基本符合理论值，SEM结果显示薄膜界面清晰，与基片接触良好，厚度在450 nm左右．电滞回线测试表明，富钛区样品剩余极化与矫顽场都较大；近准同型相界附近样品具有良好的铁电性，剩余极化较大且矫顽场较小；富锆区样品剩余极化与矫顽场较小，出现反铁电特征．
关键词:
化学溶液分解
,
组合合成
,
Pb(ZrxTi1-x)O3
,
薄膜
,
铁电性
