李泽全
,
胡蓉
,
郭晶
,
茹黎月
,
王海华
材料科学与工艺
为了研究TiO2氧空位形成的影响因素,用管式电阻炉在空气、Ar及不同温度下对TiO2烧结.采用扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射（XRD）和X射线光电子能谱（XPS）对烧结TiO2样品的微观形貌、物相组成、元素及价态进行了表征,研究了烧结温度、烧结气氛和Ar＋刻蚀对TiO2样品氧空位形成的影响.结果表明：相同气氛下,随着烧结温度的升高,TiO2氧空位浓度逐渐增大;相同温度下,惰性气氛有利于TiO2氧空位的产生;Ar＋刻蚀有利于TiO2氧空位的形成.
关键词:
氧空位
,
TiO2
,
烧结
,
Ar+刻蚀
