任明放
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王华
,
许积文
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杨玲
人工晶体学报
采用室温溅射加后续退火工艺制备了ZnO∶ Al透明导电薄膜.研究了热处理工艺对薄膜微观结构和光电性能的影响.研究表明:退火有助于减小Al~(3+)对Zn~(2+)的取代造成的晶格畸变,消除应力,促进晶粒长大,有效提高电子浓度和迁移率,降低电阻率;当溅射功率为80 W、退火温度为320 ℃时,薄膜的电阻率可低至8.6×10~(-4) Ω·cm;退火气氛对薄膜的导电性能有较大影响,真空退火可使吸附氧脱附,大大降低薄膜的方块电阻.而退火温度和退火气氛均对ZnO∶ Al薄膜的透光率没有明显影响,薄膜的透光率在86%以上.
关键词:
ZnO∶Al
,
光电性能
,
磁控溅射
,
退火工艺
徐小青
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郝晓东
,
周石光
,
刘常升
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张启富
钢铁研究学报
doi:10.13228/j.boyuan.issn1001-0963.20150168
热镀锌退火过程对热镀锌板力学性能有着重要的影响.制定合理的退火温度制度,并精确控制板温,成为实现热镀锌板精准退火过程的核心问题.分析了退火工艺对热镀锌板性能的影响,针对现有退火工艺制定方法的不足提出了基于数据驱动的退火工艺制定方法,该方法能够实现热镀锌板退火工艺的持续优化.同时系统地综述了目前基于模型的热镀锌退火过程板温控制策略,针对热镀锌退火过程特点,提出了具有高适用性的数据与物理模型相混合的热镀锌退火过程温度控制方法,能够实现热镀锌板的精准热处理.
关键词:
热镀锌
,
退火炉
,
退火工艺
,
板温控制
