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退火气氛对SnO2薄膜结构与成分的影响

王磊 , 杜军 , 毛昌辉

材料导报

研究了低氧分压反应溅射法生长的SnO2薄膜于600℃ O2气氛和Ar气氛退火处理后的表面形貌、晶体结构以及表面成分,发现经氧化性气氛退火处理的SnO2为具有金红石结构的表面多孔薄膜.相比较而言,Ar气氛退火处理后的SnO2薄膜表面较为致密,相结构包含朱氧化完全的β-Sn.XPS分析进一步表明,氧化性...

关键词: 二氧化锡 , 薄膜 , 反应磁控溅射 , 退火气氛