顾建军
,
刘鹏飞
,
韩金荣
,
杨淑敏
,
韩伟
,
岂云开
材料工程
doi:10.11868/j.issn.1001-4381.2014.10.018
采用直流磁控溅射方法在玻璃基片上制备了不同Fe掺杂量的TiO2薄膜,并对薄膜分别在空气和真空氛围下500℃进行30min退火处理.研究了Fe掺杂量和退火氛围对TiO2薄膜的结晶状态、表面形貌和磁性能的影响.结果表明,真空中500℃下退火的Fe掺杂的TiO2薄膜表现为非晶态结构,没有观察到室温铁磁性能的出现,而空气中500℃退火的样品显示出良好的结晶状态,且所有掺杂的样品均显示出室温铁磁性,并且随着Fe掺杂量的增加,TiO2薄膜的晶体结构逐渐由锐钛矿相向金红石相转变.
关键词:
稀磁半导体
,
晶体结构
,
铁磁性
,
退火氛围
李海敏
,
邱春丽
,
朱建国
,
淮明哲
,
杨青松
稀有金属
利用溶胶-凝胶法在LaNiO3/SiO2/Si衬底上制备了0.7BiFeO3-0.3PbTiO3 (BFPT7030)薄膜,利用快速退火方式将薄膜分别在空气、氧气流、空气流、氮气流中进行后续退火处理.在空气、氧气流及空气流中退火的薄膜均完全结晶并呈现高度(100)择优取向.而在氮气流中退火的薄膜由于结晶很差,测试不出其电滞回线.空气中退火的BFPT7030薄膜表现出最大的剩余极化及最小的漏电流,Pr为30 μC·cm-2,而在空气流中退火的BFPT7030薄膜表现出最小的剩余极化(Pr∶ 13 μC·cm-2)及最大的漏电流.XPS测试结果表明,在空气、氧气流及空气流中退火的BFPT7030薄膜中Fe3+∶Fe2+分别为2.09∶1,1.65∶1及1.5∶1.而在氧气流及空气流中退火的BFPT7030薄膜中Bi及Pb的相对含量低于在空气中退火的薄膜.铁离子的价态波动是产生氧空位的原因,增加氧气有助于抑制氧空位的产生.虽然Pb的挥发会导致较差的微观结构,但其挥发并不会导致氧空位的产生.
关键词:
退火气氛
,
BiFeO3-PbTiO3
,
铁电
,
溶胶-凝胶
江宏
,
张勇
中国有色金属学报(英文版)
doi:10.1016/S1003-6326(16)64451-5
利用金属有机物分解法(MOD)，在 Pt/Ti/SiO2层的 Si (100)衬底上制备了 Bi3.15Nd0.85Ti3O12(BNdT)薄膜，并将其分别在氧气氛围和空气中进行快速退火处理。运用 X 射线衍射仪和场发射扫描电子显微镜对 BNdT 薄膜的晶体结构和形貌进行表征，通过在不同浓度气体氛围下监控材料电阻变化来研究其气敏性能。结果表明，在空气环境退火的 BNdT 薄膜具有多孔微结构和表面粗糙形貌，且退火氛围对 BNdT 薄膜气敏性能有较大的影响。在工作温度为100°C 时，在空气中退火的 BNdT 薄膜对1×10?6乙醇气体具有高的灵敏度，并且对乙醇气体的极限探测浓度达到0.1×10?6。其响应和恢复时间分别约为6 s 和10 s。研究结果为制作高性能乙醇传感器有指导的意义。
关键词:
BNdT 薄膜
,
乙醇气敏性能
,
金属有机物分解
,
退火气氛
,
低工作温度
