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ITO/BZO复合薄膜制备及在非晶硅薄膜太阳能电池的应用

黄建华 , 刘怀周

人工晶体学报

采用低压化学气相沉积(LPCVD)法在沉积ITO薄膜的玻璃衬底上制备了硼掺杂氧化锌(BZO)薄膜,研究了ITO缓冲层对ITO/BZO复合薄膜表观形貌、导电性能和光学性能的影响;并研究了ITO/BZO薄膜在非晶硅薄膜太阳能电池的应用.结果表明,以ITO作为缓冲层来沉积BZO薄膜,有利于BZO晶粒尺寸的...

关键词: 透明导电氧化物 , 硼掺杂氧化锌 , 复合薄膜 , 低压化学沉积 , 非晶硅薄膜太阳能电池