李旺
,
朱登华
,
刘石勇
,
刘路
,
王仕鹏
,
黄海燕
,
杨德仁
,
牛新伟
,
杜国平
人工晶体学报
采用低压化学气相沉积法(LPCVD)在大面积(40 cm ×40 cm)超薄柔性玻璃和硬质玻璃衬底上分别制备了B掺杂的ZnO(BZO)透明导电薄膜及非晶硅薄膜太阳能电池,对比了两种衬底上BZO薄膜的形貌、光学和导电性能及其非晶硅薄膜电池的性能.结果表明,在相同LPCVD工艺下,超薄柔性玻璃衬底上BZO薄膜的生长速率相对减小;当生长相同厚度BZO薄膜时,超薄柔性玻璃衬底的透光率相对于硬质玻璃衬底提高约2％,同时并具有相同的导电能力.在柔性玻璃衬底上制备的非晶硅薄膜电池的初始和稳定转化效率也相对提高,分别达到9.16％和7.82％.
关键词:
柔性衬底
,
低压化学气相沉积
,
B掺杂ZnO
,
非晶硅薄膜
,
太阳能电池
张力元
,
段良飞
,
杨雯
,
杨培志
,
邓双
,
涂晔
,
陈小波
人工晶体学报
为探讨其晶化过程及动力学机理,本文采用磁控溅射技术制备Al/Si薄膜,并利用快速光热退火制备微晶硅.通过采用不同的衬底温度及对铝膜进行退火处理,探究其晶化动力学过程.利用拉曼散射光谱(Raman)仪和X射线衍射(XRD)仪对薄膜进行性能表征.结果表明:退火及衬底加热均能在界面形成非共融的硅铝化合物;延长退火时间能使Al/Si界面充分扩散,达到成核条件.较大的铝晶粒及其择优取向,能有效改善铝诱导晶化效果.
关键词:
非晶硅薄膜
,
磁控溅射
,
铝诱导
,
动力学
王强
,
顾江
,
花国然
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2014.12.028
研究了一种非晶硅薄膜的激光低损伤晶化工艺方法，通过在非晶硅薄膜上淀积氮化硅薄膜方法研究激光退火改善非晶硅薄膜的质量。实验结果表明，随着激光退火频率的增加，有无增透膜样品的衍射强度均会出现先下降后上升再下降的现象。增透膜样品的最强衍射峰出现在10~15 Hz 激光退火后，而无增透膜样品的最强衍射峰则出现在20 Hz 激光退火后。SEM分析表明，应用增透膜可以降低非晶硅薄膜的激光退火脉冲频率，并减少非晶硅薄膜激光损伤，可作为一种低损伤的激光晶化工艺。
关键词:
激光晶化
,
增透膜
,
氮化硅
,
非晶硅薄膜
李旺
,
刘石勇
,
刘路
,
王仕鹏
,
黄海燕
,
牛新伟
,
陆川
人工晶体学报
利用传统硅薄膜太阳能电池生产设备、以硬质玻璃为载板,在低透光率的聚酰亚胺(PI)衬底上制备了n-i-p结构的单结非晶硅(a-Si)薄膜太阳能电池组件,并通过掩膜绝缘和激光划分绝缘组合的方式在同一块PI衬底上实现了多节电池串联一体的结构.封装后电池组件的有效发电面积的转化效率达到5.13％,电池的转化效率还存在较大的提升空间.
关键词:
聚酰亚胺
,
n-i-p结构
,
激光划分绝缘
,
掩盖分割
,
非晶硅薄膜
,
太阳能电池
