陈卫平
,
萧淑琴
,
王文静
,
刘宜华
金属学报
采用射频溅射法在单晶硅衬底上制备了
(Fe88Zr7B5) 0.97Cu0.03非晶软磁合金薄膜样品,
对沉积态样品的软磁性能和巨磁阻抗(GMI)效应进行了实验研究与机理分析．
结果表明, 未掺Cu元素的Fe88Zr7B5沉积态合金薄膜几乎无
GMI效应, 而掺了适量Cu元素的(Fe88Zr7B5) 0.97Cu0.03
合金薄膜在沉积态下即具有显著的GMI效应．在13 MHz频率下, 最大纵向磁
阻抗比达17%, 最大横向磁阻抗比为11%, 这表明
(Fe88Zr7B5) 0.97Cu0.03非晶合金薄膜在沉积态已具备优异的软磁性能和巨磁
阻抗效应．同时讨论了该薄膜样品的巨磁阻抗效应随频率的变化特性.
关键词:
Fe-Zr-B-Cu非晶薄膜
,
soft magnetic property
