许振华
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戴建伟
,
牛静
,
何利民
,
牟仁德
,
王凯
腐蚀与防护
采用化学气相沉积技术在四种不同沉积温度下制备了铝化物涂层,采用X-射线衍射仪、扫描电子显微镜和能谱仪研究了不同沉积温度下涂层的相结构、微观形貌和成分.结果表明,涂层的相结构、微观形貌和成分受沉积温度的影响明显.沉积温度越高,涂层越趋于形成均质的β-NiAl相,涂层表面多边形网格状形貌越均匀,网格内晶粒生长越密实.扩散区内富集大量的铬、钼和钨元素,其相应的析出物会形成扩散障碍层.
关键词:
化学气相沉积
,
铝化物
,
温度
,
相结构
,
微观形貌
