段珍珍
,
孙大千
,
朱松
,
邱小明
材料工程
doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2008.09.011
通过磁控溅射法在纯钛表面溅射了一层ZrN涂层,研究了Ti/ZrN/瓷界面组织和力学性能.结果表明,Ti/瓷界面由富含Ti,Si,O元素的反应层和钛表面氧化层组成.钛表面溅射ZrN涂层后,Ti/瓷界面的连接转变为Ti/ZrN/瓷界面的连接,ZrN涂层能有效地防止钛表面生成过厚的氧化层.Ti/ZrN/瓷结合强度为29.2MPa,与Ti/瓷结合强度23.5MPa相比,提高了24.3%.
关键词:
Ti
,
ZrN
,
瓷
,
界面
,
结合强度
嵇凤丽
,
王颖
,
高松松
,
刘云涛
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2012.01.010
本文利用ANSYS有限元软件分别对用TaN和ZrN作为扩散阻挡层的Cu/barrier/SiO/Si结构中铜线的热应力分布进行仿真.研究热载荷350℃到20℃不同阻挡层材料单大马士革和双大马士革两种结构铜互连线的热应力.通过仿真结果得到:单大马士革结构中,在阻挡层材料为ZrN时铜线中等效应力(700MPa)比阻挡层材料为TaN时等效应力(800MPa)小；双大马士革结构中,用ZrN作为阻挡层铜线中各个方向的热应力σx、σy和σz分别比TaN作为阻挡层时小100MPa、300MPa和200MPa.本文还研究阻挡层材料分别为ZrN和TaN时,改变阻挡层的厚度对铜线热应力的影响.结果表明,热应力随着阻挡层厚度的增加而增加.各种厚度ZrN作为扩散阻挡层时的应力都比TaN作为扩散阻挡层的应力小,x、y和z方向的应力Sx(zrN)、Sy(zrN)和Sz(zrN)分别减少了50MPa、200MPa和50MPa.
关键词:
铜互连
,
扩散阻挡层
,
ZrN
,
ANSYS
,
热应力
马西飞
,
康庄
,
黄晓
,
张国军
无机材料学报
doi:10.15541/jim20140259
利用尿素为固体氮源,通过尿素分子与ZrC14、 ZrOC12·8H2O无机锆盐发生络合反应得到Z-U和ZO-U两种ZrN陶瓷的前驱体,两种前驱体在较低温度下热裂解都可以得到ZrN陶瓷粉体.使用FT-IR对前驱体分子进行了结构分析,采用TG-DTA跟踪了前驱体的热裂解过程,并通过XRD和SEM对最终热裂解获得的ZrN产物进行了表征,探讨了不同锆源制备前驱体的热裂解反应历程及其对产物ZrN的影响.结果显示:结晶水的存在对络合反应有较大影响,从而造成两种前驱体分子结构上存在较大差异;尽管热裂解反应历程相似,由于前驱体分子结构不同,获得的ZrN粉体在纯度和形貌上存在较大差异;Z-U前驱体更容易得到纯度高的ZrN纳米粉体.
关键词:
氮化锆
,
尿素
,
纳米粉体
