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ZnTe:Cu多晶薄膜结构和电性质

吴晓丽 , 郑家贵 , 郝瑞英 , 冯良桓 , 蔡伟 , 蔡亚平 , 张静全 , 黎兵 , 李卫 , 武莉莉

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2007.06.027

用共蒸发法在室温下制备了ZnTe:Cu多晶薄膜,利用XRD、AFM和XPS等测试技术对样品进行了表征,研究了掺Cu浓度和退火温度对薄膜物相和晶粒度的影响,分析了薄膜表面的元素状态.根据铜离子的变价行为对异常的电阻率温度关系作了解释.并确定了最佳掺铜浓度和退火温度.

关键词: ZnTe:Cu多晶薄膜 , 共蒸发系统 , 结构 , 电阻率~温度

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