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利用纳米ZnO粉制备厚膜气敏传感器的研究

徐红燕 , 刘秀琳 , 崔得良 , 李梅 , 王琪珑 , 蒋民华

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2005.02.025

以ZnO纳米粉(平均粒径30nm)为原料,利用水热热压方法制备了ZnO多孔纳米固体,同时用通常的水热法对ZnO纳米粉进行了预处理(预处理ZnO纳米粉).然后,分别以ZnO多孔纳米固体和预处理ZnO纳米粉为原料,制备了厚膜气敏传感器.本征电阻的测试结果表明,这两种厚膜气敏传感器的本征电阻比用未经处理的ZnO纳米粉(以下简称"原料ZnO纳米粉")制备的厚膜气敏传感器大大降低并很快达到稳定状态.有效地改善了器件工作的稳定性.结合对三种传感器的显微结构分析,对出现上述差异的原因进行了讨论.

关键词: ZnO 多孔纳米固体 , 水热热压 , 水热处理 , 气敏传感器 , 本征电阻

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