李大伟
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蒋向东
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谢康
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曾东
材料导报
采用射频磁控溅射方法在ITO基片上外延掺Ag的ZnO薄膜,分别用XRD、SEM和紫外可见光分光光度计表征外延薄膜结构、形貌和光学性质.ZnO:Ag/ITO薄膜伏安特性的研究表明,ZnO:Ag与ITO形成异质结.在紫外光波长365nm、负偏压15V情况下异质结暗电流为11.2hA,光电流为198hA,灵敏度(光电流与暗电流之比)为17.7.此异质结的紫外光响应上升时间为700ms,下降时间为1.5s.
关键词:
ZnO掺Ag
,
射频磁控溅射
,
异质结
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响应时间
