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氩氧流量对ZAO薄膜微结构及其光学性能影响

朱华 , 万文琼 , 况慧芸 , 冯晓炜

人工晶体学报

运用射频磁控溅射技术,改变氩氧流量比在玻璃衬底上生长ZnO∶ Al(ZAO)样品,采用XRD、紫外-可见分光光度计对薄膜微结构、厚度及其光学性能表征,结果发现:维持氩流量不变(9 sccm),随着氧流量增加(1~9 sccm),样品XRD峰强减小,半高宽增大,晶粒尺寸减小,薄膜结晶性能变差;而维持氧流量不变(9 sccm),氩流量减小(9~3 sccm),样品XRD峰强增大,半高宽减小,晶粒尺寸变大,结晶性能变好.紫外可见光光谱在400 ~ 900nm波长区间平均透射率差异大(67.9% ~91.1%);在420 ~ 900 nm波长区间平均透光率高且差异小(90.2% ~92.4%).

关键词: ZnO∶Al薄膜 , 透射率 , 磁控溅射

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