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YSZ薄膜的制备及应用

潘礼庆 , 王岭 , 孙加林 , 洪彦若

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.04.019

研究了在NASICON基板上使用溅射法制备的YSZ薄膜的结构、晶相和导电性,实验表明,刚制备的YSZ薄膜经750℃常规退火处理后,薄膜表面致密、均匀、无裂纹,具备良好的导电性能.YSZ/NASICON组合再加上Ba(NO3)2辅助电极构成的NOX气体传感器在450℃下响应迅速(响应时间约为3min)、稳定,能检测到10ppm量级的NO2气体.

关键词: YSZ薄膜 , 固体电介质 , 电导率 , 气体传感器 , 溅射镀膜

中温固体氧化物燃料电池电解质材料的研究进展

魏丽 , 陈诵英 , 王琴

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2003.02.016

评述了中温固体氧化物燃料电池(中温SOFC)中固体电解质的研究进展,对ZrO2基、 CeO2基、 Bi2O3基和ABO3型的钙钛矿类4种电解质材料的最新进展和今后的发展趋势作了评述.对几种电解质材料的优缺点进行了分析,同时对高温电解质YSZ薄膜化技术也作了简要介绍,因此不难得出,寻求新的、优良的中温SOFC的电解质材料仍然是新世纪推动中温SOFC实用化的关键任务之一,而YSZ薄膜化技术的研究则是研究的另一个重点,且最有可能取得突破.

关键词: 材料科学 , 中温SOFC , 电解质材料 , 电导率 , YSZ薄膜

衬底温度对钇稳定氧化锆薄膜择优生长的影响

文波 , 苏晓东

材料研究学报 doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2008.02.004

使用脉冲激光沉积(PLD)技术在Si(100)衬底上沉积钇稳定的氧化锆(YSZ)薄膜,用XRD分析薄膜的结晶取向,SEM和AFM观测薄膜表面形貌,研究了在200-650℃的不同衬底温度下薄膜的择优生长.结果表明:衬底温度较低的YSZ薄膜为非晶组织,衬底温度为300-500℃时YSZ晶粒以表面能低的(111)面首先择优生长,衬底温度超过550℃后晶粒活化能提高而使表面能较高的(100)晶粒择优生长.YSZ薄膜是典型的岛状三维生长模式,较高的衬底温度有利于原子在衬底表面迁移和重排结晶长大.同其它沉积技术相比,用PLD技术能在比较低的衬底温度下在Si(100)表面原位外延生长出较高质量的YSZ薄膜.

关键词: 无机非金属材料 , YSZ薄膜 , PLD沉积 , 择优生长 , 衬底温度

YSZ薄膜材料的制备及电导性能

喻维杰 , 谭启 , 彭定坤 , 孟广耀 , 曹传宝 , 胡建恺 , 张裕恒

材料研究学报

检测了用微波等离子体化学气相淀积制备的YSZ薄膜的光学性能.样品对230—900nm光的透过率在72%左右.用交流阻抗谱技术测定了YSZ薄膜在100—700℃的电导性能、以倒扭摆法检测了样品的低频内耗.并分析了YSZ薄膜中氧空位激活和晶界原子弛豫引起的电导变化.

关键词: YSZ薄膜 , oxygen ion conductor , low frequency internal friction

水基凝胶注YSZ固体电解质薄膜干燥过程研究

刘晓光 , 杜林虎 , 李斌太 , 李国军 , 陈大明

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2003.04.004

用水基凝胶注法制备出YSZ固体电解质薄膜, 研究了温度、湿度和坯体厚度对干燥过程的影响规律. 结果表明温度和湿度对干燥失重速率的影响比坯体厚度的影响大, 温度越高, 湿度越小, 坯体厚度越小, YSZ薄膜失重速率越大. 同时利用物理机制对干燥过程进行了解释, 验证了YSZ薄膜的干燥过程分为明显的三个阶段,而且第一阶段干燥速率明显高于第二、第三阶段的干燥速率,第三阶段干燥速率受外界条件影响相对较小.对于厚度为0.1 mm的YSZ薄膜,选择40 ℃和RH=60%的干燥工艺,效果最佳.

关键词: 水基凝胶注 , 干燥 , YSZ薄膜

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