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无氟化学溶液法制备YBa2Cu3Oz超导薄膜?

王文涛 , 王振 , 蒲明华 , 张欣 , 雷鸣 , 王明江 , 赵勇

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.07.001

采用自主开发的无氟化学溶液沉积法在(00l)LaAlO3单晶片上制备了 YBa2 Cu3 Oz(YBCO)超导薄膜。研究了高温热处理过程中不同成相气氛和渗氧温度对 YBCO 薄膜结构和性能的影响。采用 X 射线衍射仪对薄膜进行了织构分析，通过扫描电镜和原子力显微镜观察了薄膜的表面形貌。采用磁性能测试系统测量了薄膜的超导转变温度和磁化曲线。实验结果表明，在干燥的热处理气氛和400℃渗氧制备的 YBCO 薄膜具有更加优异的性能。

关键词: YBCO 薄膜 , 热处理 , 超导转变温度 , 临界电流密度