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W-Ti共掺杂ZnO靶材的烧结及其特性

乔薇 , 陈新亮 , 张存善 , 张德坤 , 魏长春 , 张晓丹 , 赵颖

材料科学与工程学报

本文根据高价态差掺杂原理,采用常压烧结技术制备了低电阻率的W-Ti共掺杂ZnO陶瓷靶材(WTZO),并研究了烧结温度及烧结气氛对靶材特性的影响。结果表明:当烧结温度为1200℃时,WTZO靶材的特性较好。随着烧结温度的升高,WTZO靶材的相对致密度先快速增大后缓慢减小,方块电阻先降低后升高。烧结气氛对WTZO靶材特性的影响显著,烧结气氛为空气时,靶材的方块电阻为12.18Ω/□,相对致密度为94.3%;当烧结气氛为高纯Ar气时,靶材的方块电阻为1.253Ω/□,相对致密度为96.7%。

关键词: WTZO靶材 , 烧结温度 , 烧结气氛 , 相对致密度 , 方块电阻

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