刘正兵
,
周升国
,
吴杨敏
,
王顺才
中国表面工程
doi:10.11933/j.issn.1007-9289.20161117005
为研究退火处理对WC-DLC薄膜结构与性能的影响,采用磁控溅射技术在高速钢表面沉积WC-DLC薄膜,并作不同温度下的退火处理,对不同温度退火处理后的WC-DLC薄膜的结构、摩擦学性能与耐腐蚀性能进行系统表征.结果表明:WC-DLC薄膜呈现出非晶态特征,随着退火温度的上升,薄膜中sp3-C相对含量下降;当退火温度在250℃时,WC-DLC薄膜在大气环境下与去离子水环境下分别表现出最优的摩擦学性能,磨损率分别为1.25× 10-7 mm3/Nm与1.02×10-7 mm3/Nm.同时,当退火温度低于250℃时,WC-DLC薄膜的耐腐蚀性能无明显变化,但当退火温度高于250℃时,WC-DLC薄膜的耐腐蚀性明显下降.退火处理对WC-DLC薄膜的热稳定性、摩擦学性能及耐腐蚀性能有重要影响.
关键词:
WC-DLC薄膜
,
退火
,
摩擦学性能
,
耐腐蚀性能
