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赵永生 , 李伟 , 刘平 , 马凤仓 , 刘新宽 , 陈小红 , 何代华
机械工程材料
简要介绍了TiSiN纳米复合涂层的晶体结构,主要从涂层的性能、制备方法、硅含量以及其它元素掺杂的影响等方面综述了TiSiN纳米复合涂层的研究进展,最后对其存在的主要问题和今后的发展方向进行了总结和展望.
关键词: TiSiN涂层 , 纳米复合结构 , 制备工艺 , 研究进展