赵永生
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李伟
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刘平
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马凤仓
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刘新宽
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陈小红
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何代华
机械工程材料
简要介绍了TiSiN纳米复合涂层的晶体结构,主要从涂层的性能、制备方法、硅含量以及其它元素掺杂的影响等方面综述了TiSiN纳米复合涂层的研究进展,最后对其存在的主要问题和今后的发展方向进行了总结和展望.
关键词:
TiSiN涂层
,
纳米复合结构
,
制备工艺
,
研究进展
王振玉
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徐胜
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张栋
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刘新才
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柯培玲
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汪爱英
金属学报
doi:10.3724/SP.J.1037.2013.00698
采用高功率脉冲磁控溅射(HIPIMS)技术在N2流量为10～50 mL/min下沉积TiSiN涂层,利用台阶仪,XRD,XPS,SPM,SEM,HRTEM和纳米压痕仪对涂层的沉积速率、相结构、成分、形貌和力学性能进行了分析,并研究了不同N2流量对等离子体放电特性的影响.结果表明,在不同N2流量下,TiSiN涂层均具有非晶Si3N4包裹纳米晶TiN复合结构,涂层表面粗糙度Ra为0.9～1.7 rnm;随N2流量的增加,等离子体的放电程度减弱,离化率降低,TiSiN涂层沉积速率降低,其Ti含量逐渐降低,Si含量逐渐增加,但变化幅度较小;涂层择优取向随N2流量的增加发生改变,晶粒尺寸逐渐增大,硬度和弹性模量逐渐降低,涂层硬度最高为(35.25±0.74) GPa.
关键词:
高功率脉冲磁控溅射
,
TiSiN涂层
,
放电特性
,
复合结构
,
力学性能
