龙东平
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薛建荣
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晏智鑫
表面技术
doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2015.06.022
目的：研究相同工艺条件下阳极氧化法在不同钛合金基底(TA1,TC4,TC4F136)上生成的TiO2薄膜的力学性能差异。方法采用扫描电镜结合原子力显微镜观察3种薄膜的形貌和结构,用UNHT型纳米压痕仪测试TiO2纳米薄膜的力学性能,利用纳米划痕法测试3种钛合金表面生成的TiO2薄膜与基底的结合强度及摩擦性能,用纳米压痕技术测试TiO2的显微硬度和弹性模量。结果电解液及其它电化学条件相同时,不同钛合金基底上形成的TiO2薄膜结构(管直径、管壁厚及管长度)不同。结论阳极氧化法在钛合金基底上生成的TiO2纳米薄膜的力学性能,由TiO2微观结构及其与基底的结合强度决定,微观结构和结合强度归根到底由合金中元素决定。
关键词:
钛合金
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TiO2 薄膜
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力学性能
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纳米划痕
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纳米压痕
雅菁
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杨宁宁
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2015.13.003
采用溶胶-凝胶法在K9玻璃上制备了均匀、透明、裂纹较少的纳米 TiO2薄膜，以无水乙醇用量、涂层数、煅烧温度为影响因素，设计L9(3)4正交试验，以薄膜的透明度、微观致密程度作为评价标准，讨论了无水乙醇用量、涂层数和煅烧温度对制备 TiO2薄膜光学性能的影响。用反射式椭圆偏振光谱仪测试最佳制备工艺下制得的 TiO2薄膜的椭偏参数，并用Cauchy模型对椭偏参数进行数据拟合。结果表明，薄膜最优制备工艺参数为无水乙醇用量30 mL、涂层数为2层、煅烧温度为550℃；Cauchy 模型能较好的描述溶胶-凝胶薄膜在300~700 nm波段的光学性能；薄膜的折射率和消光系数都有随波长增大而减小的趋势且制备的薄膜具有随着膜层数的增加，折射率增加，而最大峰值透光率、孔隙率减小的规律。
关键词:
溶胶-凝胶
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TiO2 薄膜
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正交实验
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光学性能
张盼盼
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丁龙先
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张帅拓
表面技术
doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2015.05.009
目的：探究TiO2薄膜结晶性与工艺参数之间的规律。方法采用直流反应磁控溅射法,改变工艺条件(样品位置、溅射功率、氧气分压、是否开转架、沉积温度以及是否退火),在普通载玻片基底上制备TiO2薄膜,并利用XRD和SEM对不同工艺参数下获得的TiO2薄膜进行分析。结果在靶基距固定的情况下,仅改变样品悬挂的上下位置时,薄膜的结晶性差别不大。随着溅射功率在一定范围内增大,薄膜的结晶性越来越好(趋于锐钛矿晶型)。与氧气分压为5%时相比,10%时的薄膜结晶性更优；与开转架时相比,不开转架时薄膜的结晶性更优。沉积温度在300,350℃两者之间变化时,对薄膜的结晶性影响不大。退火后薄膜的结晶性优于未退火薄膜。结论样品位置、沉积温度对于TiO2薄膜的结晶性影响不大；氧气分压、是否开转架对TiO2薄膜的结晶性有一定影响；溅射功率、退火与否对TiO2薄膜的结晶性影响较大,并且退火后出现金红石相。
关键词:
磁控溅射
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工艺参数
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TiO2 薄膜
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结晶性
聂燕中
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聂朝胤
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赵洋
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刘晓东
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龚小玲
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2015.07.018
采取溶胶-凝胶法制备了 TiO 2与 SiO 2的前驱溶液.并利用 SiO 2薄膜固有的多孔特性，在普通载玻片上以 SiO 2为模板成功制得了具有较大粗糙度以及多孔特性的多层 TiO 2薄膜，其表面粗糙度亦达到14．7 nm；利用热重-差热分析仪(TGA-DSC)对 TiO 2溶胶进行分析；采用 X 射线衍射仪(XRD)、扫描探针显微镜(CSPM)和扫描电镜(SEM)对薄膜的结构与形貌进行了表征.并考察了不同层数 TiO 2薄膜性能的差异，实验结果表明，未预涂 SiO 2的 TiO 2膜表面光滑平整，而预涂了 SiO 2的 TiO 2表面呈现出均匀的微孔结构.前者在避光6 h 后完全失去超亲水性；而预涂1层SiO 2的 TiO 2薄膜在经过30 h 避光处理后，接触角依然小于10°，其中两层 TiO 2薄膜接触角仅为6．7°，润湿性得到了很好的保持.
关键词:
TiO2 薄膜
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多孔特性
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粗糙度
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超亲水性
胡琴
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朱正吼
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尹镭
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李晓敏
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徐雪娇
功能材料
介绍了一种通过溶胶-凝胶法在铁基纳米晶带材表面制备TiO2薄膜的方法,并研究了涂层后对带材的磁性能影响.结果表明,通过溶胶-凝胶法可在带材表面形成一层TiO2薄膜；带材表面变得光滑、平整；涂层后带材的有效磁导率下降,品质因数增加,软磁性能下降；提拉2次得到的薄膜对带材磁性能影响最小.
关键词:
溶胶-凝胶
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纳米晶
,
TiO2 薄膜
