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TiO2基氧化物半导体氧敏传感器的研究开发进展

潘海波 , 陈耐生 , 林德娟 , 沈水发 , 黄金陵

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.01.023

综合介绍TiO2基氧化物半导体氧敏传感器的研究发展历史和TiO2材料的特性,比较了各种氧敏机理、制备方法、传感器的氧敏特性,就制备方法-材料微观结构-氧敏性能关系中的几个重要问题,进行了深入的探讨,并对今后的研究开发与产业化,结合本课题组的研究工作,提出了几点建议。

关键词: TiO2基氧化物 , 金红石相 , 氧敏传感器

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