宋贵宏
,
肖金泉
,
杜昊
,
陈立佳
材料研究学报
在电弧离子镀靶后端加入轴对称线圈磁场,制备了TiN-Cu纳米复合膜.观察线圈磁场强度对靶表面电弧斑点游动速率和弧柱形状的影响,及其对沉积薄膜的表面形貌、沉积速率、纳米压痕硬度和弹性模量的影响.结果表明,提高线圈磁场强度可提高电弧斑点的游动速率,进而降低靶表面金属液滴喷射几率,减小沉积薄膜中大颗粒的尺寸和数量.X射线衍射(XRD)谱显示,沉积薄膜只含有TiN相,未出现金属Cu或其化合物的衍射峰;薄膜呈现明显的(111)晶面择优取向.随着线圈磁场强度的提高薄膜沉积速率、压痕硬度和弹性模量先增加,达到最大值后又略有减少,其最大硬度和弹性模量分别达到35.46 GPa和487.61 GPa.
关键词:
复合材料
,
TiN-Cu纳米复合膜
,
硬度
,
电弧离子镀
,
磁场强度
,
大颗粒
,
沉积速率
