刘燕萍
,
闫志琴
,
郝兴明
材料工程
doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2006.z1.051
利用等离子辉光放电溅射技术,在碳钢表面复合渗镀形成TiN扩散层和沉积层.表面成分检测渗镀层呈梯度材料分布,表面钛原子和氮原子之比,符合TiN相结构.渗镀层总深度约有15μm,表层TiN约有4μm.渗镀层成分检测表明,与基体之间呈梯度分布.X射线衍射结果表明,渗镀层表面为TiN,其中(200)晶面的衍射峰最强,具有明显的择优取向.TiN复合层在H2S溶液中的腐蚀行为表明:辉光合成的TiN涂层可以提高材料在富液溶液中的耐蚀性能,与PVD沉积TiN试样和基体低碳钢试样相比耐蚀性分别提高了5.76,49.76倍.
关键词:
等离子辉光放电
,
TiN层
,
扩散层
,
耐蚀性
刘燕萍
,
徐晋勇
,
隗小云
,
王建忠
,
高原
,
徐重
中国腐蚀与防护学报
采用双层辉光渗金属技术，在碳钢表面形成具有扩散层和沉积层的TiN复合渗镀层.对复合渗镀、PVD以及复合渗镀＋PVD三种工艺制备的TiN层表面形貌
、成分及在10%H2SO4和35%NaCl〖JP2〗溶液中的耐蚀性能进行了对比试验研究.结果表明：复合渗镀＋PVD法沉积的TiN薄膜呈较为均匀、致密、细小的组织，Ti和N原子由表层呈梯度向内分布.与PVD法沉积的TiN层不同，是属于冶金扩散结合层，渗镀层厚度可达10 μm以上.在10%H2SO4和35%NaCl溶液中，渗镀层的腐蚀速度分别为0.156 g/(m2·h)和0.025 g/(m2·h)，显示出了优异的耐蚀性.
关键词:
辉光等离子
,
,
PVD
,
TiN
,
structure
