陈飞
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陈家庆
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陈良贤
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李成明
机械工程材料
利用非对称双极脉冲磁控溅射技术在20CrNiMo钢表面制备了TiN／ZrN多层薄膜，利用扫描电子显微镜和原子力显微镜观察了薄膜的截面和表面形貌，用划痕仪测试了薄膜与基体的结合力，通过球一盘摩擦磨损试验机对薄膜的摩擦学性能进行了研究。结果表明：制备的TiN／ZrN多层薄膜厚度约为2．μam，薄膜均匀且致密，表面粗糙度为13．63nm；薄膜与基体结合较牢固，临界载荷达到51．0N；薄膜具有优良的减摩性，摩擦因数为0．16，较基体20CrNiMo钢的0．33明显减小，使该钢的耐磨性能得到提高。
关键词:
20CrNiMo钢
,
TiN/ZrN薄膜
,
磁控溅射
,
摩擦学性能
