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20CrNiMo钢表面磁控溅射制备TiN／ZrN多层薄膜的形貌及摩擦学性能

陈飞 , 陈家庆 , 陈良贤 , 李成明

机械工程材料

利用非对称双极脉冲磁控溅射技术在20CrNiMo钢表面制备了TiN／ZrN多层薄膜，利用扫描电子显微镜和原子力显微镜观察了薄膜的截面和表面形貌，用划痕仪测试了薄膜与基体的结合力，通过球一盘摩擦磨损试验机对薄膜的摩擦学性能进行了研究。结果表明：制备的TiN／ZrN多层薄膜厚度约为2．μam，薄膜均匀且...

关键词: 20CrNiMo钢 , TiN/ZrN薄膜 , 磁控溅射 , 摩擦学性能