宋诚
,
朱丽慧
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刘振宇
,
刘一雄
硬质合金
doi:10.3969/j.issn.1003-7292.2016.06.001
为获得抗氧化性能更为优越的TiN/TiCN/Al2O3/TiN复合涂层,本文采用中温化学气相沉积(MT-CVD)在WC-Co硬质合金基体表面沉积不同厚度α-Al2O3层的TiN/TiCN/Al2O3/TiN多层涂层,并在1 000℃下对涂层试样进行氧化实验.通过X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)等手段研究α-Al2O3层厚度对TiN/TiCN/Al2O3/TiN涂层抗氧化性能的影响,确定可显著提高涂层抗氧化性能的α-Al2O3层厚度,同时探索涂层的抗氧化机理.结果表明:随着α-Al2O3层厚度的增加,TiN/TiCN/Al2O3/TiN多层涂层试样氧化后质量增量减少,涂层氧化增厚降低.当α-Al2O3层厚度为6.5 μm时,TiN/TiCN/Al2O3/TiN涂层的抗氧化性能显著提高.随着涂层厚度的增加,涂层阻止O向涂层内部扩散及Al、Ti向外部涂层扩散能力增强,抗氧化性能更优越.
关键词:
TiN/TiCN/Al2O3/TiN多层涂层
,
厚度
,
组织结构
,
抗氧化性能
