宋庆功
,
辛慧
材料保护
向TiAlN薄膜中添加V可改善薄膜性能.采用磁控溅射技术沉积了不同V含量的TiAlVN薄膜,通过能谱仪、台阶仪、X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)分析薄膜的成分、厚度、相结构和表面形貌,用动电位极化的方法研究薄膜的抗腐蚀性能.结果表明:TiAlVN薄膜属于面心立方(fcc)和六方密排(h...
关键词:
磁控溅射
,
TiAlVN薄膜
,
TiAlN薄膜
,
抗腐蚀性能
吴劲峰
,
何乃如
,
邱孟柯
,
吉利
,
李红轩
,
黄小鹏
功能材料
采用非平衡磁控溅射技术在AISI202不锈钢片和P(111)单晶硅基底上制备了TiAlN薄膜,并利用场发射扫描电镜(FESEM)、三维轮廓仪、X射线衍射仪(XRD)、X射线电子能谱仪(XPS)、纳米压痕仪对薄膜的结构和性能进行了考查.结果表明,随着N2流量的升高,TiAlN薄膜的沉积速率降低,Al/...
关键词:
磁控溅射
,
TiAlN薄膜
,
N2流量
,
微观结构
,
硬度
刘红亮
,
陶冶
,
胡智杰
物理测试
利用MeVVA离子源技术对阴极磁过滤真空弧沉积的TiAlN薄膜进行了不同注入剂量的Nb及Nb+C离子注入.采用EDS、TEM、GIXRD、显微硬度等测试方法研究了离子注入剂晕对于薄膜微观结构和性能的影响.结果表明,注入剂量为Nb 5×1017 ions/cm2+C5×1017 ions/cm2时,N...
关键词:
离子注入
,
TiAlN薄膜
,
非晶
,
纳米晶
林小东
,
宋绪丁
,
傅高升
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2010.06.007
采用Ti靶电弧离子镀与Al靶中频磁控溅射相结合的复合工艺,通过调节Al靶电流,在不锈钢基体上制备了TiN薄膜和TiAlN薄膜样品,并在热处理炉内对薄膜进行高温抗氧化试验,分析了薄膜氧化前后的表面形貌、断口形貌及显微硬度.结果表明:TiAlN薄膜氧化前和氧化后的硬度均随着铝靶磁控溅射电流的增强、铝含量...
关键词:
TiAlN薄膜
,
TiN薄膜
,
抗高温氧化性能
,
中频磁控溅射
,
电弧离子镀
倪晟
,
孙卓
,
赵强
功能材料
使用磁控共聚焦溅射技术并改变溅射过程中Al的功率来制备了一系列A1含量不同的氮化钛铝(TiAlN)薄膜.在溅射过程,薄膜沉积速率和Al含量随Al的溅射功率增加而增大,而薄膜的粗糙度减小.Al含量较低时(约21%),TiAlN薄膜的硬度和弹性模量都高于TiN薄膜.而Al含量较高时(＞26%),薄膜的硬...
关键词:
TiAlN薄膜
,
磁控共溅射
,
纳米压痕仪
,
机械性能
李明升
,
陈柯伟
,
王福会
,
徐家寅
腐蚀学报（英文）
doi:10.3969/j.issn.1002-6495.2001.z1.012
利用IPB30/30T型空心阴极离子镀膜机并改变蒸发源料中Ti、Al的比例,在不锈钢表面沉积了不同Al含量的TiAlN薄膜;电子探针分析结果表明涂层为内层富铝,外层富TiN的梯度涂层;X-ray衍射分析表明,薄膜相结构主要为δ-TiN的B1NaCl结构,薄膜的择优取向随着镀料中Al含量的增加由(11...
关键词:
空心阴极离子镀
,
TiN薄膜
,
TiAlN薄膜
,
针孔
,
空洞
,
抗氧化性
曹慧
,
张发
,
孟超平
表面技术
doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2016.10.017
目的在GCr15轴承钢和W18Cr4V高速钢基体上制备硬质耐磨的纳米TiAlN薄膜,以此来提高GCrl5和W18Cr4V钢的使用寿命.方法采用直流反应磁控溅射的方法,以氩气为工作气体,氮气为反应气体,采用反复试验并优化后的一组参数,在两种常用的钢基体上制备高质量的耐磨薄膜.通过XRF、XRD、AFM...
关键词:
磁控溅射
,
TiAlN薄膜
,
微观结构
,
摩擦磨损
,
纳米
,
显微硬度
朱文波
,
高原
,
王成磊
,
何胜军
材料热处理学报
在4Cr13不锈钢表面采用多弧离子镀沉积TiAlN薄膜,采用磁控溅射法和多弧离子镀在4Cr13表面分别沉积掺杂Cr和Cr、Ni的TiAlN薄膜,采用电化学工作站对其进行电化学腐蚀性能测试.结果表明:在l mol/L的H2SO4溶液中,同时掺杂Cr、Ni的TiAlN薄膜的耐腐蚀性是TiAlN薄膜的4....
关键词:
不锈钢
,
TiAlN薄膜
,
多弧离子镀
,
磁控溅射
,
腐蚀
罗飞
,
何欣
,
杨会生
,
高克玮
,
王燕斌
航空材料学报
doi:10.3969/j.issn.1005-5053.2007.02.008
研究利用反应磁控溅射法在高速钢基体上制备TiAlN薄膜材料,采用XRD测试薄膜晶体结构,用UMT显微力学测试仪测试薄膜摩擦系数.在此基础上讨论铝含量、直流偏压及后期处理对薄膜摩擦系数的影响.结果表明,不同铝含量的TiAlN薄膜中都存在面心立方相和六方相,随着铝含量的增高,面心立方相比例逐渐减小,六方...
关键词:
磁控溅射
,
TiAlN薄膜
,
摩擦系数
