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TiAlN/CrAlN纳米结构多层膜的结构与性能

董松涛 , 喻利花 , 薛安俊 , 许俊华

材料热处理学报

采用射频磁控溅射方法制备了单层TiAlN、CrAlN复合薄膜以及不同调制周期和不同层厚比(lTiAlN/lCrAlN)的TiAlN/CrAlN纳米结构多层膜.薄膜采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、显微硬度仪进行表征.结果表明:TiAlN、CrAlN复合薄膜和TiAlN/CrAlN多层膜均为面心立方结...

关键词: TiAlN/CrAlN纳米多层膜 , 显微硬度 , 微结构 , 抗氧化性能