杨立军
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张泽辉
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李林
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张勇
稀有金属材料与工程
在GCr15轴承钢基体上,利用多弧离子镀技术低温(175℃)沉积TiAlCN涂层.利用SEM、EPMA、XRD、附着力测试仪、纳米压痕仪和UMT-2高温摩擦磨损测试仪研究薄膜性质.结果表明,涂层表面光滑平整、均匀致密且无明显孔洞.涂层表面存在一定数量的液滴颗粒,薄膜厚度约为2 μm.在涂层中,发现了晶体结构为fcc-TiN结构,薄膜的晶粒大小为10～30 nm;随着薄膜中C元素的加入,XRD谱中(Ti0.5,Al0.5)N峰出现了宽化;在TiAlN中引入C,附着力下降,随着涂层中C含量的增加,薄膜中的A1和Ti比例未发生明显变化,附着力略微增加,但硬度和弹性模量先增加后减小,摩擦系数一直减小.
关键词:
电弧离子镀
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TiAlCN
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附着力
,
摩擦系数
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硬度
