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(Ti,Al)N/Ti2AlN涂层的制备

董瑜亮 , 闫旭波 , 赵升升 , 宫骏 , 孙超

金属学报 doi:10.3724/SP.J.1037.2009.00754

利用电弧离子镀技术在不锈钢基体上沉积了Ti-Al-N涂层,研究了沉积工艺参数对沉积态涂层的成分及相组成的影响,以及在不同退火处理条件下各涂层组织的变化.XRD结果表明,通过改变沉积工艺参数可以控制沉积态涂层的成分,使涂层经退火后生成Ti2AlN相.适当成分的沉积态涂层退火生成Ti2AlN相所需的最低退火温度为650℃,其它沉积态涂层在700℃或更高温度下退火才能生成Ti2AlN相;退火过程中可能发生的化学反应为:AlTi3N+5Al→TiN+2Al3Ti和AlTi3N+3Al→Ti2AlN+Al3Ti.此外,延长退火时间可使相同工艺下的沉积涂层生成的Ti2AlN相含量略有增加.利用SEM对涂层进行了分析,测量了涂层的摩擦系数.

关键词: 电弧离子镀 , Ti2AlN涂层 , 高温退火 , 摩擦系数

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