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Ti-Ta-O复合薄膜的制备及抗腐蚀性

陈吉华 , 杨大智 , 刘敬肖 , 王伟强

材料研究学报 doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2001.05.019

采用离子束增强沉积法在NiTi基体上合成了具有不同组分比的Ti-Ta-O薄膜研究了组分比对薄膜的相结构、力学性能和抗模拟体液腐蚀性的影响SEM,AFM和XRD分析表明,所有薄膜均由纳米粒子堆积而成,膜层连续光滑,纯Ti-O膜为金红石结构,而Ti-Ta-O膜为非晶态划痕实验、显微硬度分析和电化学测试研究表明,加入Ta后,膜与基体间的结合强度、韧性和抗腐蚀性增强,显微硬度下降Ta含量为36%(原子分数)的膜使NiTi的抗蚀性显著提高.

关键词: 离子束增强沉积 , Ti-Ta-O薄膜 , 模拟体液 , 抗腐蚀性

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