牛新平
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王昕
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马胜利
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徐可为
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刘维民
稀有金属材料与工程
采用磁控溅射方法在1Cr18Ni9Ti不锈钢基体上沉积Ti-Si-N纳米薄膜.结果发现:随着Si含量增加,薄膜的晶粒尺寸逐渐变小,晶粒尺寸范围在3 nm～20 nm之间.薄膜的显微硬度相对于TiN有明显增加,最大硬度可达43.5GPa.Si元素的加入亦改善了膜基结合强度.同时发现,Ti-Si-N纳米薄膜的摩擦系数和比磨损率随着Si含量的增加先减小后增加,其高温摩擦系数明显低于常温,但比磨损率却有显著提高.
关键词:
Ti-Si-N纳米薄膜
,
显微硬度
,
结合强度
,
摩擦系数
