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D+离子束辐照对Ti膜的影响

王博宇向伟谈效华戴晶怡程亮秦秀波

金属学报 doi:10.3724/SP.J.1037.2010.00017

在加速器上, 利用不同能量的D+离子束对Ti膜进行连续辐照, 利用慢正电子湮没技术和SEM对束流辐照前后Ti膜进行表征. 结果表明, D+离子束对Ti膜造成辐照损伤, 随D+离子束能量增大, 辐照损伤的程度加重; 辐照损伤最大值在0.3 μm处; D+离子束对Ti膜表面造成不同程度的烧蚀, 随D+离子束能量增加, 膜表面烧蚀程度增加, 膜表面几何不均匀性导致膜表面出现选择性烧蚀. 数值计算表明, 随能量增加, D+离子在Ti膜中的能量沉积增大, 这与SEM观测结果相符.

关键词: D+ , Ti film , slow positron annihilation spectroscopy

阳极氧化疏松钛膜制备高光催化活性的透明TiO2纳米多孔涂层

梁银 , 李朋 , 裴旺 , 段晋辉 , 黄峰 , 赵昆渝

材料工程 doi:10.11868/j.issn.1001-4381.2016.07.017

采用磁控溅射法在玻璃基底上制备出一层特殊结构的Ti膜,该钛膜经过电化学阳极氧化和退火工艺处理,可直接在玻璃基底表面形成一层具有高光催化活性的透明TiO2纳米多孔涂层(简称TNP涂层)。利用XRD和SEM对TNP涂层的结构和形貌特征进行了表征。利用紫外可见分光光度计、接触角测试仪以及划痕测试仪对该涂层的透光率、浸润性、结合力进行了测试。最后,通过降解亚甲基蓝溶液对该涂层的光催化活性进行了评价。结果表明:制备的TNP涂层具有疏松多孔结构,退火后可形成锐钛矿相,透光率在可见光范围内达到80%以上,表面具有超亲水性(接触角< 6°),与玻璃基底间的结合力为2.9N;2h内对浓度为1×10-5mol/L的亚甲基蓝溶液降解率可达到94%,光催化反应速率常数为1.47h-1

关键词: Ti膜 , TiO2纳米多孔 , 透明 , 光催化 , 超亲水

TiO2纳米孔到纳米管结构转变的因素及其机理研究

李朋 , 赵昆渝 , 郭军 , 张晓娟 , 戴丹 , 黄峰

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2014.01.011

通过中频脉冲磁控溅射的方法,在玻璃基底上沉积得到了表面均匀性好、致密度高的钛薄膜.在NH4 F/乙二醇+H2O电解液体系中对该钛膜进行电化学阳极氧化.结果表明:30V恒电压下,当NH4F浓度从0.5%(质量分数,下同)增加到1%时,阳极氧化后形成的TiO2膜层逐渐从纳米孔结构转变成纳米管结构;当NH4F浓度低于0.75%时,随阳极氧化电压的增加,形成的TiO2膜层不会出现从纳米孔到纳米管结构的转变.

关键词: 钛膜 , TiO2纳米孔 , TiO2纳米管 , 氟离子浓度 , 阳极氧化电压

复合高功率脉冲磁控溅射Ti的放电特性及薄膜制备

李小婵 , 柯培玲 , 刘新才 , 汪爱英

金属学报 doi:10.3724/SP.J.1037.2013.00744

采用高功率脉冲磁控溅射与直流磁控溅射并联的复合高功率脉冲磁控溅射技术,研究直流磁控溅射部分耦合直流电流变化对Ti靶在Ar气氛中放电及等离子体特性的影响.采用表面轮廓仪、扫描探针显微镜、X射线衍射与纳米压痕仪对Ti薄膜厚度、结构特征以及力学性能进行表征.结果表明:耦合直流电流增加,靶平均功率增加,脉冲作用期间靶电流降低,等离子体电子密度增加;在耦合直流电流为2.0A时,等离子体电子密度和电子温度获得较大值,分别为2.98 V和0.93 eV;耦合直流电流增加,Ti薄膜沉积速率近似线性增加,粗糙度增加,硬度和弹性模量略有降低;相同靶平均功率时,采用复合高功率脉冲磁控溅射技术制备Ti薄膜与采用传统直流磁控溅射技术相比,沉积速率相当;靶平均功率650 W时复合高功率脉冲磁控溅射所制Ti薄膜比传统直流磁控溅射所制Ti薄膜更加光滑,平均粗糙度降低1.32 nm,力学性能更加优异,硬度提高2.68 GPa.

关键词: 复合高功率脉冲磁控溅射 , 直流 , 放电特性 , Ti薄膜

阳极氧化疏松钛膜制备高光催化活性的透明TiO2纳米多孔涂层

梁银 , 李朋 , 裴旺 , 段晋辉 , 黄峰 , 赵昆渝

材料工程 doi:10.11868/j.issn.1001-4381.2016.07.017

采用磁控溅射法在玻璃基底上制备出一层特殊结构的Ti膜,该钛膜经过电化学阳极氧化和退火工艺处理,可直接在玻璃基底表面形成一层具有高光催化活性的透明TiO2纳米多孔涂层(简称TNP涂层).利用XRD和SEM对TNP涂层的结构和形貌特征进行了表征.利用紫外可见分光光度计、接触角测试仪以及划痕测试仪对该涂层的透光率、浸润性、结合力进行了测试.最后,通过降解亚甲基蓝溶液对该涂层的光催化活性进行了评价.结果表明:制备的TNP涂层具有疏松多孔结构,退火后可形成锐钛矿相,透光率在可见光范围内达到80%以上,表面具有超亲水性(接触角<6°),与玻璃基底间的结合力为2.9N;2h内对浓度为1×10-5 mol/L的亚甲基蓝溶液降解率可达到94%,光催化反应速率常数为1.47h-1.

关键词: Ti膜 , TiO2纳米多孔 , 透明 , 光催化 , 超亲水

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