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奥氏体不锈钢上功能梯度SiC薄膜的制备和性能

李合琴 , 都智 , 储汉奇 , 聂竹华

材料热处理学报

用磁控溅射法在奥氏体不锈钢基片上制备了SiC单层膜和Ti／TiN双层膜以及Ti／TiN／SiC功能梯度薄膜。采用XRD和显微硬度计对薄膜的结晶质量和硬度进行表征；用AFM和SEM对薄膜的表面和截面形貌进行了表征。结果表明：Ti／TiN双层膜在氩氮流量比为15：15时，薄膜的结晶质量最好，硬度最高，达...

关键词: 功能梯度薄膜 , SiC薄膜 , 奥氏体不锈钢 , 制备 , Ti/TiN , 显微硬度计 , 不锈钢基片 , 结晶质量