李合琴
,
都智
,
储汉奇
,
聂竹华
材料热处理学报
用磁控溅射法在奥氏体不锈钢基片上制备了SiC单层膜和Ti／TiN双层膜以及Ti／TiN／SiC功能梯度薄膜。采用XRD和显微硬度计对薄膜的结晶质量和硬度进行表征；用AFM和SEM对薄膜的表面和截面形貌进行了表征。结果表明：Ti／TiN双层膜在氩氮流量比为15：15时，薄膜的结晶质量最好，硬度最高，达到15．6GPa，最适合作为钢基SiC薄膜的缓冲层。另外，功能梯度SiC薄膜比SiC单层膜的结晶质量好；不同退火温度下功能梯度SiC薄膜的硬度高于SiC单层膜，同时功能梯度SiC薄膜的表面结晶质量也优于SiC单层膜。
关键词:
功能梯度薄膜
,
SiC薄膜
,
奥氏体不锈钢
,
制备
,
Ti/TiN
,
显微硬度计
,
不锈钢基片
,
结晶质量
