高金海
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李桢
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张武勤
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张兵临
功能材料与器件学报
本文从事的研究是碳纳米管(CNT)薄膜的制备及场发射效果分析.在普通玻璃衬底上用磁控溅射方法镀上金属钛层,用含铁杂质的碳化硅微粒对钛层进行抛光.利用微波等离子体化学气相沉积法,在小于500℃衬底温度下快速制备出CNT膜.通过扫描电子显微镜、拉曼光谱,分析了薄膜的表面形貌和结构特性.通过二级管结构测试了聚晶膜的场致电子发射特性,对于制备的碳膜,在电场？时,最大场发射电流密度达？.并对其发射机理进行了研究.
关键词:
微波等离子体化学气相沉积
,
碳纳米管
,
场致电子发射
