万红
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李再轲
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邱轶
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斯永敏
中国有色金属学报
采用磁控溅射法制备了TbDyFe超磁致伸缩非晶薄膜,研究了真空热处理退火及软磁性Fe薄膜的交换耦合作用对TbDyFe超磁致伸缩的低场磁致伸缩性能的影响.研究结果表明:真空退火处理通过改善薄膜的微结构及应力状态,有效地提高薄膜了的低场磁敏性能;易磁化方向平行于膜面的软磁Fe膜的复合,使薄膜平行于膜面的易磁化性能大大提高,复合薄膜的强制磁致伸缩系数(dλ/dH)提高3倍以上.单层薄膜厚度越小,交换作用越强,低场磁致伸缩性能越好;当薄膜厚度大于交互作用距离、薄膜的总厚度不变时,单层薄膜的厚度变化对复合薄膜的磁致伸缩性能没有影响.
关键词:
TbDyFe薄膜
,
超磁致伸缩
,
磁控溅射
,
磁性复合
刘吉延
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马世宁
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乔玉林
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李长青
稀有金属材料与工程
采用直流磁控溅射工艺制备TbDyFe磁致伸缩薄膜,通过考察薄膜成分及其微结构,分析研究了溅射功率对薄膜磁致伸缩性能的影响.结果表明,同一薄膜内部成分相当均一,但不同溅射功率条件下的薄膜成分相异.溅射功率较低,薄膜内部微柱状体结构导致了磁各向异性的产生,磁致伸缩性能下降;溅射功率提高到120 W,微柱状体结构消失,薄膜内部趋于均一连续,磁致伸缩性能较好.
关键词:
磁控溅射
,
TbDyFe薄膜
,
磁致伸缩
,
溅射功率
万红
,
邱轶
,
斯永敏
,
赵恂
稀有金属材料与工程
研究了SmCo薄膜的复合及热处理对TbDyFe薄膜磁性及磁致伸缩性能的影响.XRD分析表明制备态的TbDyFe薄膜为非晶态,在450℃退火后,样品仍保持非晶态结构.退火处理减少了薄膜的垂直各向异性,并且退火热应力有利于薄膜的易磁化轴转向膜面,从而提高了薄膜的磁导率和TbDyFe薄膜低场下的磁致伸缩值.磁控溅射的SmCo薄膜有良好的软磁性能,它的复合也能有效地增强TbDyFe薄膜的低场磁致伸缩性能.
关键词:
TbDyFe薄膜
,
超磁致伸缩
,
磁控溅射
