梁学勤
,
冯成坤
,
陈奕峰
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沈辉
,
闻立时
材料导报
研究了TMAH(四甲基氢氧化铵)和NaOH腐蚀液在制作单晶硅片小绒面中的应用,制作出平均尺寸小于2μm的金字塔绒面;比较了不同硅片预处理(酸减薄、碱减薄、原片)对金字塔绒面尺寸、均匀性、覆盖率以及反射率的影响以及电池的I-V性能,分析了不同绒面结构对接触电阻的影响;指出单晶硅小金字塔绒面是使用激光制备高效晶体硅太阳电池的关键.
关键词:
单晶硅片
,
小金字塔绒面
,
TMAH
,
NaOH
,
太阳电池
肖婷刘波王新练王春芬任丁
材料研究学报
采用含异丙醇(IPA)的TMAH溶液腐蚀经Si3N4掩膜形成10 μm×10 μm窗口的单晶硅片。在硅片表面得到了内壁光滑的倒金字塔V型口阵列。研究发现: 与纯TMAH对硅的各向异性腐蚀特性相比, 添加IPA使TMAH溶液对硅各个晶面的腐蚀速率减小, 致使含IPA的TMAH溶液对硅的腐蚀速率和各向异性因子比在纯TMAH中要小。通常认为, 腐蚀形成的倒金字塔结构侧壁晶面为(111)面, 但本研究表明, 由各向异性腐蚀形成倒金字塔的侧壁晶面随腐蚀时间发生了一系列转化。在腐蚀开始时, 倒金字塔侧面由(567)面逐渐向(111)面转化; 继续腐蚀时, 腐蚀面偏离(111)面, 向(443)面转化。
关键词:
材料表面与界面
,
wet etching
,
TMAH
,
inverted pyramid-shape structures
,
intersection angles between side planes and (100) plane
郭兴忠
,
李海淼
,
朱潇怡
,
杨辉
,
傅培鑫
,
高黎华
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2008.06.025
以四甲基氢氧化铵(TMAH)为分散剂,纳米TiN、亚微米SiC粉体为原料,分别制备单组分水基料浆及复合料浆,分析了SiC/纳米TiN复合料浆的分散稳定机制以及喷雾干燥行为.研究结果表明,TMAH在纳米TiN、SiC颗粒表面形成特征吸附,通过静电作用和空间位阻协同作用提高颗粒的分散性;当pH=8、TMAH加入量为0.75wt%时,复合浆料分散稳定,喷雾干燥制备的SiC/纳米TiN复合粉体流动性好,且分布均匀.
关键词:
SiC
,
纳米TiN
,
水基料浆
,
复合粉体
,
TMAH
,
喷雾干燥
王强
,
杨冬琴
,
花国然
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2015.14.025
应用 TMAH 和 NaOH 分别对硅基太阳能电池进行背抛光。研究表明,TMA H 抛光效果优于NaOH。其最佳抛光温度为67℃,最佳异丙醇浓度为20 mL/L,催化剂吡嗪浓度为2 g/L。随着抛光时间的增加,电池的转换效率先增加后减少,最佳抛光时间为90 s,多晶硅电池转换效率提高了0．48％。
关键词:
太阳能电池
,
背抛光
,
有机碱
,
转换效率
,
背反射
肖婷
,
刘波
,
王新练
,
王春芬
,
任丁
材料研究学报
采用含异丙醇（IPA）的TMAH溶液腐蚀经Si_3N_4掩膜形成10μm×10μm窗口的单晶硅片。在硅片表面得到了内壁光滑的倒金字塔V型口阵列.研究发现：与纯TMAH对硅的各向异性腐蚀特性相比,添加IPA使TMAH溶液对硅各个晶面的腐蚀速率减小,致使含IPA的TMAH溶液对硅的腐蚀速率和各向异性因子比在纯TMAH中要小,通常认为,腐蚀形成的倒金字塔结构侧壁晶面为（111）面,但本研究表明,由各向异性腐蚀形成倒金字塔的侧壁晶面随腐蚀时间发生了一系列转化。在腐蚀开始时,倒金字塔侧面由（567）面逐渐向（111）面转化;继续腐蚀时,腐蚀面偏离（111）面,向（443）面转化。
关键词:
材料表面与界面
,
湿法腐蚀
,
TMAH溶液
,
倒金字塔结构
,
侧壁晶面夹角
