陈新亮
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王斐
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闫聪博
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李林娜
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林泉
,
倪牮
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张晓丹
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耿新华
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赵颖
材料导报
阐述了玻璃衬底、柔性衬底透明导电氧化物薄膜(Transparent conductive oxides-TCO)以及硅基薄膜太阳电池应用方面的最新研究成果.绒面结构可以提高薄膜太阳电池效率和稳定性并降低生产成本.磁控溅射技术和LP-MOCVD技术是制造绒面结构ZnO-TCO薄膜(例如“弹坑”状和“类金字塔”状表面)的主流生长技术；高迁移率TCO薄膜(IMO、IWO、ZnO∶Ga等)以及柔性衬底TCO薄膜是研究开发的重点.
关键词:
镀膜技术
,
TCO薄膜
,
绒面结构
,
高迁移率
,
缓冲层
,
梯度掺杂
,
薄膜太阳电池
