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刘汉法 , 郭庆生
人工晶体学报
利用直流磁控溅射法,在相同实验条件下成功沉积出了钛掺杂氧化锌(TZO)透明导电薄膜和钛铝共掺杂氧化锌(TAZO)透明导电薄膜,并对两种薄膜的结构、应力和光电性能进行了对比研究.结果表明:两种薄膜均为具有c轴择优取向的六角纤锌矿结构多晶薄膜;TAZO薄膜的导电性能优于TZO薄膜,100 W溅射功率下制...
关键词: TZO薄膜 , TAZO薄膜 , 磁控溅射 , 光电性能 , 应力
郭美霞
液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20112602.0161
用直流磁控溅射法在玻璃衬底上成功制备出了铝钛共掺杂氧化锌(TAZO)透明导电薄膜,研究了溅射压强对TAZO薄膜的微观结构和光电特性的影响.研究结果表明,所制备的TAZO薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有c轴择优取向.当溅射压强为7.5 Pa时,薄膜的最小电阻率为3.34×10-4Ω·cm.薄膜的...
关键词: TAZO薄膜 , 透明导电薄膜 , 溅射压强 , 磁控溅射
