王磊
,
杜军
,
毛昌辉
,
杨志民
,
熊玉华
材料科学与工程学报
doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2007.01.006
采用反应磁控溅射法制备SnO2薄膜经常出现化学计量比的失衡问题.通过控制溅射过程中的氧分压制备不同化学计量比的SnO2-x薄膜,研究非化学计量比对薄膜结构、成分以及气敏性能的影响.XRD结果表明氧分压对材料结构和取向的影响非常显著.薄膜的O/Sn和表面化学成分通过XPS进行确定,分析发现氧分压的增加促使薄膜接近化学计量比,但表面化学吸附氧含量在0.33Pa氧分压下达到最大.气敏性能测试表明,非化学计量比主要影响薄膜表面的化学吸附氧数量,从而影响导电性和气体敏感性.氧分压对薄膜化学吸附氧的影响趋势与对气敏性能的影响趋势一致.0.33Pa氧分压下制备的薄膜拥有最多的表面吸附氧,同时对氢气的灵敏度高达45.6%.另外,在0.2～0.5Pa氧分压下制备的薄膜对氢气具有较好的选择性.
关键词:
SnO2薄膜
,
氧分压
,
非化学计量比
,
反应磁控溅射
孙克
,
赵岩
,
沈文锋
,
张彩碚
材料研究学报
doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2003.02.012
用溶胶-凝胶法制备SnO2前驱液,然后用提拉法分别在单晶Si和Al2O3基片表面制备出SnO2前驱膜,再用脉冲Nd:YAG激光烧结前驱膜使其转变为晶体SnO2薄膜.用XRD分析了单晶Si表面的SnO2薄膜,研究激光功率对SnO2薄膜相组成的影响.TEM观察表明,激光烧结后的薄膜SnO2颗粒均匀,直径约为10 nm.用激光烧结法制备的SnO2薄膜对浓度为1.80×10-4丙酮的最高灵敏度为30～40,明显高于用传统烧结法制备的SnO2薄膜的灵敏度.激光烧结能降低薄膜具有最高灵敏度的工作温度.
关键词:
无机非金属材料
,
SnO2薄膜
,
激光烧结
,
灵敏度
,
气敏特性
,
丙酮
姚宏燚
,
袁志钟
,
熊志高
,
翟艺璇
,
李东升
材料导报
doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2016.18.001
利用反应磁控溅射法(RMS)制备了SnO2薄膜,并研究了溅射参数对薄膜微观结构和光学性能的影响.结果表明,随着溅射气压、氧分压的增大和衬底温度的升高,薄膜沉积速率相应减小;在不同衬底温度下(室温至600℃)溅射薄膜时,较高的衬底温度可得到较大的SnO2晶粒,表面更为粗糙;此外,将原生SnO2薄膜在O2气氛下退火可以改善其结晶度,原本的柱状结构转变成致密的薄膜结构,其光学禁带宽度变宽至3.85 eV;经过退火的SnO2薄膜的光致发光(PL)强度显著增强,位于约610 nm的PL发光峰主要是源于SnO2纳米晶体表面悬挂键的未饱和电子态.
关键词:
SnO2薄膜
,
反应磁控溅射
,
光致发光
,
光学禁带
徐游
,
李风
,
曾国勋
人工晶体学报
采用超声雾化热解法在石英玻璃基底上制备了SnO2/Sb:Ni薄膜,并对薄膜的晶体结构、表面形貌和光学性能进行了表征.结果表明:薄膜晶粒生长致密,晶粒大小均匀,呈柱状晶结构,(200)晶面是优势生长面.经过二元掺杂后,薄膜的平均可见光透过率最高为87.54％；波长为300 nm时,薄膜的紫外透过率约为50％.
关键词:
SnO2薄膜
,
透过率
,
超声雾化热解法
赵杰
,
赵经贵
,
高山
,
霍丽华
,
王海水
,
席时权
应用化学
doi:10.3969/j.issn.1000-0518.2004.02.004
以SnCl2·2H2O和无水乙醇为原料,采用溶胶-凝胶方法制备了SnO2透明溶胶,通过浸渍提拉技术制备了SnO2纳米薄膜;利用XRD、UV和AFM技术研究了薄膜的结构和形貌.结果表明,SnO2纳米薄膜的球形粒径约5 nm;随着薄膜沉积层数的增加,其电子光谱的吸收呈线性增加,膜电阻则逐渐减小并趋于稳定值.薄膜对100～1 000μL/L的乙醇和丙酮都有较好的敏感性和响应-恢复特性,对800μL/L的气体响应和恢复时间分别为30和60s.
关键词:
SnO2薄膜
,
溶胶-凝胶法
,
气敏性能
