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SnO2膜导电玻璃性能的研究

朱月秀 , 王德苗

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2002.01.021

采用喷镀法制备SnO2膜导电玻璃,研究了膜厚、基底温度对薄膜电阻和透光率的影响.用SEM、XPS和XRD分析了SnO2膜的形貌与导电性能,并研究了其透光性、反射性及热稳定性.结果表明:SnO2膜是多晶结构氧空位导电的N型半导体,在可见光范围内透光率达88%以上并具有较好的热稳定性.

关键词: SnO2膜 , 谱图分析 , 透光率 , 热稳定性

催化剂水对掺杂氟的氧化锡膜性能与结构的影响

赵洪力 , 刘起英 , 杨静凯 , 刘艳丽 , 张福成

稀有金属材料与工程

采用常压化学气相沉积法(APCVD),以有机金属化合物-单丁三氯化锡(C4H9SnCl3,MBTC)和三氟乙烯(CF3COOH,TFA)为前驱物和掺杂剂,以水为催化剂,在线制备了F掺杂的SnO2膜;采用XRD、SEM、椭偏仪等方法研究催化剂H2O的用量对薄膜的结构和光电性能的影响.结果表明,H2O可促进反应混合气体在基板表面的热分解反应,加速薄膜沉积速率,提高薄膜结晶性能.

关键词: 低辐射玻璃 , 在线镀膜 , SnO2膜 , H2O

卤素掺杂透明导电膜电导特性研究

殷顺湖 , 王民权

硅酸盐通报 doi:10.3969/j.issn.1001-1625.1999.03.011

通过超声喷雾法制备SnO2膜,研究了掺杂卤素原子对电导的影响规律,同时分析了膜厚度与电导关系.

关键词: 超声喷雾法 , SnO2膜 , 电导

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