彭龙
,
李乐中
,
陈松
,
李元勋
稀有金属材料与工程
微机电系统(MEMS)的发展要求Si基片上的永磁薄膜具有良好的热稳定性.采用磁控溅射工艺在单晶Si(100)基片上沉积了SmCo基永磁薄膜,研究了溅射参数对薄膜沉积速率、微观结构、晶体结构和磁性能的影响.结果表明:通过调整溅射参数可以获得TbCu7型结构的SmCo基永磁薄膜.该薄膜具有良好的晶粒取向和微观结构,因而获得了较好的面内磁性能,其反磁化过程主要受控于畴壁钉扎机制.
关键词:
SmCo合金
,
永磁薄膜
,
溅射
,
MEMS
彭龙
,
李元勋
稀有金属材料与工程
基于溅射理论和分子热力学理论建立了SmCo基多元合金薄膜的成分调控模型,讨论了溅射参数对薄膜成分的影响规律.随后以Sm(Co0.62Fe0.25Cu0.1Zr0.03)7.5合金为靶材,采用磁控溅射工艺在单晶Si基片上制备了SmCo基多元合金薄膜,测试了不同溅射工艺制备薄膜的成分.结果表明:通过模型计算得到的薄膜成分对溅射参数的依赖关系与实验结果吻合,验证了模型的有效性.
关键词:
溅射
,
薄膜成分
,
SmCo合金
,
稀土永磁
