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黄菊 , 杨苹 , 冷永祥 , 孙鸿 , 黄楠
功能材料
利用非平衡磁控溅射技术在Ti6Al4V合金表面制备SiNO薄膜,对不同氮气流量下SiNO薄膜样品的耐磨性和耐蚀性进行研究.结果表明,SiNO薄膜样品具有优异的耐磨性和耐蚀性能.研究认为影响SiNO薄膜性能的主要因素为薄膜中的氮原子百分含量及化合物存在状态.
关键词: 磁控溅射 , SiNO薄膜 , 耐磨性 , 耐蚀性
