材料期刊网

多元非晶态陶瓷研究现状及展望

张通 , 张宁 , 杨非易 , 阚洪敏 , 王晓阳 , 龙海波

硅酸盐通报

本文以SiCN、SiCNAl和SiBCN多元非晶态陶瓷为例,总结了非晶态陶瓷当前发展现状和应用不同方法合成陶瓷的工艺,比较了各种方法的优缺点和制备时影响材料质量的因素,并对今后的发展趋势进行了展望,对多元非晶态陶瓷的进一步研究具有一定的指导作用.

关键词: 多元非晶态陶瓷 , SiCN , SiCNAl , SiBCN

微波等离子体化学气相沉积制备SiCN结晶膜及SiCN微米棒阵列

程文娟 , 张阳 , 江锦春 , 朱鹤孙

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.04.008

本文采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)系统,以CH4, H2, N2作为源气体,以Si棒作为Si源,在Si衬底上制备出了SiCN结晶及SiCN微米棒阵列.样品的形貌由场发射扫描电子显微镜(SEM)表征分析.用X射线光电子谱(XPS)、Raman散射谱及X射线衍射(XRD)对样品的键合状态及结构进行表征,结果表明,所得到的SiCN薄膜是一具有新的六方结构的三元化合物.

关键词: SiCN , 微米棒 , 微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)

半导体学报（英文版） doi:10.1088/1674-4926/31/4/043003

关键词: